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压力传感器的划分
压力传感器的划分
点击次数:1893 更新时间:2019-12-16
传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,它与通信技术、计算机技术构成现代
信息产业的三大支柱。在各种传感器中,压力传感器是应用广泛的一种。
石
油、汽车、航天等领域的使用要求,使高温压力传感器的研究成为必然。
根据工作原理划分,压力传感器可分为电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感
器、.电感式压力传感器、压阻式压力传感器、谐振式压力传感器、电容式压力传感器等。其
中压阻式结构是日前研究热、成果多的一种,它有着高精度、高灵敏度、高频响等优点。
压阻式压力传感器是一种新型压力 传感器。它的前身是平膜应变传感器,因此基本测量
原理与平膜应变传感器相同。但它以是半导体材料作为感应膜片,在膜片上使用集成电路扩
散工艺制成四个等值压敏电阻,组成惠斯顿电矫,当膜片受力后、由于材料的压阻效应。
压敏电阻值发生变化,使电桥平衡破坏从而输出电信号以测得压力的变化,感应膜片结构已
成为影响压阻式压力传感器性能的关键。
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